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Clarus氣相色譜儀壓力流量控制指標(biāo)

更新時(shí)間:2017-11-16      點(diǎn)擊次數(shù):1300
  Clarus氣相色譜儀壓力流量控制指標(biāo)
  
  Clarus氣相色譜儀壓力流量控制指標(biāo)
  
  壓力、流量測(cè)量:指針式壓力表方式、電子壓力流量方式
  
  全電子氣體壓力、流量測(cè)量系統(tǒng):?jiǎn)文Kzui大測(cè)量路數(shù):16路
  
  EPC、EFC工作模式:3種;恒流模式、恒壓模式、分流模式
  
  EPC、EFC工作氣體:4種;氮?dú)?、氫氣、空氣、氦?br />  
  EPC、EFC程升:4階
  
  EPC、EFC控制量程:壓力:0~0.6Kpa;流量0~100sccm或0~500sccm(空氣);
  
  Clarus氣相色譜儀輔助模塊:
  
  1)進(jìn)樣口包含載氣輔助模塊,兩個(gè)載氣區(qū)
  
  2)所有進(jìn)樣口可配置手動(dòng)控制的輔助模塊
  
  3)所有檢測(cè)器可配置手動(dòng)控制的輔助模塊
  
  Clarus氣相色譜儀進(jìn)樣口:
  
  1)可安裝分流/不分流進(jìn)樣口和填充柱進(jìn)樣口
  
  2)可裝兩個(gè)進(jìn)樣口
  
  3)分流/不分流進(jìn)樣口
  
  4)工作溫度:50℃~450℃,1℃遞增
  
  5)手動(dòng)調(diào)節(jié)輔助模塊,壓力調(diào)節(jié)器0~60psi,數(shù)字顯示柱頭壓力
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